オープンファシリティ新規登録
イノベイティブ計測技術開発研究センター管理の装置がオープンファシリティ装置として利用可能となりました。
・超高分解能ショットキー走査電子顕微鏡 SU7000
・卓上顕微鏡TM4000Plus
・高分解能FEB測長装置(CD-SEM)CS4800
・集束イオンビーム加工観察装置JIB-4000
オープンファシリティ装置 新規登録 SU7000
7月1日より、オープンファシリティ装置として利用可能になりました。
超高分解能ショットキー走査電子顕微鏡 SU7000は、日立ハイテクノロジーズ製の高性能、高分解能の走査電子顕微鏡（SEM)です。
複数の二次電子信号・反射電子信号が同時取得できるようにデザインされた電子光学系/検出系により、広視野全体像から表面微細構造までの多様な信号を迅速に取得し、多チャンネルの信号同時表示/保存が可能です。さらに低真空状態での操作が可能であり、これまで電子顕微鏡観察が難しかった有機物や生体試料なども観察できます。
また、本装置は組成分析としてEDX、構造解析としてEBSD装置を装備しており、材料の高度な分析ができます。
材料をはじめとした多様な研究に資することが期待されています。
