革新的計測評価技術の開発研究を目指して
本センターは、光、電磁気、電子、粒子線などの評価手法を包括的に研究し、新たな計測手法の開発に取り組んできました。また、半導体デバイス計測や新材料の構造解析における電子顕微鏡の基盤技術に対する高度な技術課題に挑戦し、高分解能、高精度の計測技術を実現してきました。今後、データサイエンスに基づく計測手法を展開し、データ収集、分析、解釈、情報抽出、予測モデリングなどを包括的に統合するアプローチを追求していきます。これらの成果を応用し、ナノテクノロジーや機能デバイスなどの材料科学分野、病理診断、創薬などの医学関連分野において、計測手法とデータ解析を結びつけた機械学習や深層学習による高品質かつ革新的な特性評価手法を社会に提供し、実用化を目指していきます。つくばの地域連携を生かし、学内外の専門家が集結し、産学連携において精度・質の高い革新的計測評価技術の開発研究を目指します。