IoT などの社会インフラ、持続可能な社会の構築を目指して世界が急速に進展している昨今、それを支える革新的計測評価技術の開発は益々重要性が増しています。
本センターは、光・電磁波、音波、電子・粒子線、ナノプローブ等を駆使した評価手法を網羅し、更に得られた計測データの解析技術として、機械学習（Machine Learning）、深層学習（Deep Learning）等の技術を適用して新たな計測評価技術の開発研究を推進します。
応用分野は、半導体をはじめとするナノテクノロジ、機能デバイス等の材料科学分野と病理診断、創薬等の医学関連分野です。これらに不可欠な高度な計測評価技術は我が国の産業の中核をなしており、その技術のさらなる進展は我が国の将来を担うものです。
つくばには、筑波大学をはじめ多くの研究機関があり、「日立ハイテクアドバンストＳＥＭテクノロジ特別共同研究事業」を筆頭に、個々にあるいは共同で計測評価技術の開発研究を進めていますが、統合的な拠点がありません。そこで、つくばの地域性を生かし、学内外の専門家が結集する「イノベイティブ計測技術開発研究センター」を設置し、横断的かつ集中的に、精度・質の高い革新的計測評価技術の開発研究を推進していきます。本センターを拠点として、我が国の産業の国際競争力の強化に寄与することを目指します。